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不是大人物 2007-06-15 11:27

去下載《紫外激光切割Si片的實(shí)驗(yàn)研究》

紫外激光切割Si片的實(shí)驗(yàn)研究,樓祺洪 章琳 葉震寰 董景星 魏運(yùn)榮 KH)pJG|NY  
NQ3|\<Wt  
中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所 .??rqaZ=  
K#U{<pUP  
摘要:報(bào)道了用193nm準(zhǔn)分子激光切割硅片的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。采用柱透鏡光學(xué)系統(tǒng)及“熱劈裂法”獲得小于15μm的切縫及小于5μm的切面不平整度。 pqd4iR Wv  
NFM-)Z57  
關(guān)鍵詞:紫外激光;激光切割;硅片
Myoptics 2007-06-17 15:42
多謝啦,不錯(cuò)的論文。
6172007 2007-06-17 17:06
謝謝啦,下了。
518918 2007-06-17 23:50
收下了,多謝。
wayguo 2009-08-05 14:26
多謝啦,不錯(cuò)的論文。
111 2009-08-13 13:46
收下了,多謝。
xieyifeng 2010-05-04 15:45
fghfghfhfghfh
lw890720 2010-07-02 14:10
多謝樓主
khwonthy 2010-07-18 10:24
謝謝樓主。想學(xué)習(xí)一下。
唐亮 2010-07-20 20:20
多謝樓主
jerrywang 2010-09-09 16:53
duo xie le
chis 2010-09-16 18:52
謝謝!
martin605 2010-09-19 14:19
謝謝樓主分享--下載看看!!!
wildcat 2010-10-11 13:03
Interesting article
dahai 2010-10-11 13:47
感謝樓主!
wy6688 2010-12-16 11:05
好東西
朱艷玲 2011-06-28 11:18
我也想要
zhckz949 2012-04-16 13:02
好東西哇
liu89060 2012-04-27 22:19
看看先~  先下載
嗱嘚起放嘚嚇 2012-04-28 14:47
好東西
daipengcq 2012-04-30 19:32
我正在看。
titanlizard 2013-08-14 09:43
支持一個(gè)·············
blue_maple 2013-08-22 16:47
看下先~
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