| dodgygeeze |
2009-10-30 16:24 |
超難, 請指教. 關(guān)于面型
1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm , 5q`d=L,
2. Mirror: Wavefront error < λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15 lD! o4ZAo
請問1/10 和 1/15 在這里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不盡. Zernike Poly是波前誤差的什么多項式, 那么15指什么? 如果能簡明告知原理, 感激涕零. O[3 AI^2
我已經(jīng)被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全 T/
CI?sn
搞暈了. 似乎整個工廠都沒人懂, 不過zygo上面好像有這些數(shù)據(jù), 暈啊, 到底哪個是哪個啊. zaX!f ~;"
請高人指點. G
1{ F_
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