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光行天下 -> 光學(xué)設(shè)計(jì)及經(jīng)驗(yàn) -> 折疊式光刻物鏡 [點(diǎn)此返回論壇查看本帖完整版本]

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phoenixzqy	2012-02-14 22:14
折疊式光刻物鏡在原有光刻物鏡專利的基礎(chǔ)上，對(duì)物鏡進(jìn)行了簡(jiǎn)化和修改，留出了添加反射鏡的空間，實(shí)現(xiàn)了光路的折疊。

phoenixzqy	2012-02-14 22:15
幫一學(xué)生做的光路模擬。

phoenixzqy	2012-03-27 00:43
雙遠(yuǎn)心光路！

hoxomo	2012-08-31 17:47
4:1的？

phoenixzqy	2012-08-31 21:47
hoxomo:4:1的？(2012-08-31 17:47)嬀/color] TY~8`+bJ y;A<R[\|Ve 差不多。從圖上能看出來(lái)的。

phoenixzqy	2012-09-27 22:40
歡迎交流合作

hoxomo	2012-09-28 15:57
NA 多少？ la#f,C3_

phoenixzqy	2012-09-28 20:46
hoxomo:NA 多少？ z%cq%P8g (2012-09-28 15:57)嬀/color] [kwVxaI ~]X4ru5,4 專利未修改之前，NA不到0.1； _mVq9nBEf l H:Y8j 圖中這個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求是0.03~0.04.。

ilyhairpin	2012-09-30 17:09
貌似很復(fù)雜

ilyhairpin	2012-09-30 17:10
貌似很復(fù)雜哎

phoenixzqy	2012-10-01 08:43
ilyhairpin:貌似很復(fù)雜哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] I*cB Ha .)Xyzd 還好。在專利基礎(chǔ)上修改的。

deaneliu	2012-10-03 14:46
請(qǐng)問(wèn)LZ，這是用什么軟件做模擬的

phoenixzqy	2012-10-03 18:48
deaneliu:請(qǐng)問(wèn)LZ，這是用什么軟件做模擬的(2012-10-03 14:46)嬀/color] Nb.AsIR^ zY?GO"U" zemax oslo codev都可以的。

phoenixzqy	2012-10-03 18:48
deaneliu:請(qǐng)問(wèn)LZ，這是用什么軟件做模擬的(2012-10-03 14:46)嬀/color] \|7@[+ FD?!bI4 成像軟件都可以。

hoxomo	2012-11-22 16:40
phoenixzqy:專利未修改之前，NA不到0.1； I[\|5 DQ 圖中這個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46) ICSi<V[y1 xE/r:D# NA有點(diǎn)小啊，分辨率不高啊。

phoenixzqy	2012-11-22 20:38
hoxomo:NA有點(diǎn)小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] ^6=y4t=%F H.sHXuu 這個(gè)系統(tǒng)分辨率很高，不要只按na計(jì)算。你可以在zemax里模擬一下。

phoenixzqy	2012-11-22 20:40
hoxomo:NA有點(diǎn)小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] sem:" GAK!qLy9 mtf@500仍大于0.35

hoxomo	2012-11-30 17:54
phoenixzqy:mtf@500仍大于0.35 (2012-11-22 20:40) mU d['Z )zUbMzF 那挺不錯(cuò)的

ekisyou	2012-12-08 22:11
封裝上面用的嗎

phoenixzqy	2012-12-24 22:50
ekisyou:封裝上面用的嗎(2012-12-08 22:11)嬀/color] ;\|a,1#x