超短脈沖激光器的光纖方案
在工業(yè)應(yīng)用中,超短脈沖激光器與連續(xù)波操作具有相同的優(yōu)勢(shì),插座效率高,尺寸小,需要的維護(hù)少,可靠性高。脈沖能量的限制主要來(lái)自光纖本身。單模光纖的中心直徑為10-20 μm,這等于許多微加工應(yīng)用中所選用的光斑尺 ..
在工業(yè)應(yīng)用中,超短脈沖激光器與連續(xù)波操作具有相同的優(yōu)勢(shì),插座效率高,尺寸小,需要的維護(hù)少,可靠性高。脈沖能量的限制主要來(lái)自光纖本身。單模光纖的中心直徑為10-20 μm,這等于許多微加工應(yīng)用中所選用的光斑尺寸。這樣,我們必須在一定范圍內(nèi)操作,使得光纖的非線性效應(yīng)和吸收不會(huì)影響脈沖的特性,仍然保持目標(biāo)燒蝕時(shí)的最佳條件。在實(shí)際操作中,很難在“標(biāo)準(zhǔn)”光纖內(nèi)提高超短脈沖的能量而超過(guò)5-10 μJ范圍,甚至在皮秒范圍也不能實(shí)現(xiàn)。在飛秒光纖激光器的情況下,光纖內(nèi)的脈沖寬度必須先被展寬,然后輸出光纖后被壓縮,以實(shí)現(xiàn)實(shí)際的脈沖能量(啁啾脈沖放大,CPA)。
超短脈沖光纖激光器在連續(xù)波(CW)的模式下可以實(shí)現(xiàn)很高的功率。準(zhǔn)連續(xù)波(QCW)模式意味著很高的重復(fù)頻率(≥100 MHz),在這種情況下,材料燒蝕的反應(yīng)時(shí)間要比脈沖之間的間隔要長(zhǎng)。所以,激光與材料的相互作用接近CW激光器的情況。超短脈沖光纖激光器的鎖模過(guò)程在這個(gè)重復(fù)頻率范圍內(nèi)十分簡(jiǎn)便,提供了最簡(jiǎn)單的脈沖輸出技術(shù)。為了優(yōu)化材料加工時(shí)加工速度與質(zhì)量的關(guān)系,必須降低重復(fù)頻率,因此,可以使用所謂的“脈沖選擇”方案,能夠?qū)⒅貜?fù)頻率從百M(fèi)Hz降到MHz范圍。目前,對(duì)于不同材料來(lái)說(shuō),非QCW重復(fù)頻率的最大值尚未得到確定。作為經(jīng)驗(yàn)法則,重復(fù)頻率高于1 MHz時(shí),等離子體屏蔽現(xiàn)在開(kāi)始出現(xiàn)。不過(guò),燒蝕率持續(xù)非線性的增加,直到至少10MHz處。頻率范圍在1-10MHz、脈沖能量為5-10 μJ的超短脈沖光纖激光器提供了很高的平均功率(5-100W)和材料去除率(光斑大小在5-10 μm)。薄膜的制圖通常需要很高的掃描速度(1-100 m/s),以便在大規(guī)模生產(chǎn)中能更經(jīng)濟(jì)。超短脈沖激光器在這些應(yīng)用中表現(xiàn)出眾。 |

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