日本學(xué)者大森整等人從1987年對(duì)鑄鐵纖維結(jié)合劑金剛石砂輪等的高強(qiáng)度金屬結(jié)合劑的超硬磨料砂輪，開(kāi)發(fā)了借用 electro1ytic ln processdr9ssin8(elid)的磨削法，實(shí)現(xiàn)了硬脆材料的超精密磨削，現(xiàn)在己成功應(yīng)用于球面、非球面透鏡、模具的超精密加工。

2.1.elod超精密磨削的原理

elid磨削系統(tǒng)包括：金屬結(jié)合劑超微細(xì)粒度超硬磨料砂輪、電解修整電源、電解體整電極、電解液(兼作磨削液)、接電電刷和機(jī)床設(shè)備。 elid磨削原理見(jiàn)本刊1994年 no．9“在線電解修整磨削先進(jìn)陶瓷”一文。

金屬基結(jié)合劑砂輪的機(jī)械強(qiáng)度高，通過(guò)設(shè)定合適的電解量，可使砂輪磨損減少，在超精密磨削的同時(shí)，又能得到較高的形狀精度，應(yīng)用這一原理，能實(shí)現(xiàn)從平面到非球面，各種形狀的光學(xué)元件的超精密磨削。

2.2.elld超精密磨削實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)

在 rank pneumo公司的 asg—2500t機(jī)床上，裝上大森整的 elid系統(tǒng)，該系統(tǒng)由砂輪、電源、電極及磨削液等組成。在毛坯成形粗加工時(shí)，使用400號(hào)砂輪，半精加工使用1000號(hào)砂輪或2000號(hào)砂輪，而在超精密磨削時(shí)，使用4000號(hào)(平均粒徑為4μm)或8000號(hào)(平均粒徑約為2μm)的鑄鐵結(jié)合劑金剛石砂輪。砂輪尺寸、形狀為φ75w3平形砂輪。電解修銳電源(elid電源)，使用了發(fā)生直流高頻脈沖電壓的專(zhuān)用電源，電源的電壓是60v，電流是10a。磨削液是將水溶性磨削液 afh— m和 cem稀釋成50倍，依靠自來(lái)水或純水稀釋。

2.3.elid超精密磨削的實(shí)驗(yàn)結(jié)果

在加工非球面時(shí)，通過(guò)安裝在工件軸上的碗形工具(325號(hào)鑄鐵結(jié)合劑金剛石砂輪φ30×w2mm)進(jìn)行平砂輪的 r成形修整，約10min的電解初期修銳后，經(jīng)過(guò)400號(hào)砂輪的粗磨，1000號(hào)砂輪的半精加工，依靠4000號(hào)砂輪進(jìn)行 elid超精密磨削。

在超精密非球面加工機(jī)床上，借助 elid磨削技術(shù)，加工光學(xué)玻璃 bk一7的非球面透鏡，成功地達(dá)到面型精度優(yōu)于 o．2μm，表面粗糙度 rmax20nm，而對(duì)于稍軟質(zhì)的lasfn30和ge等材料的非球面，也得到了面型精度優(yōu)于0.2μm-0.3μm，表面粗糙度rmax30nm，表面粗糙度rmax30nm級(jí)良好鏡面。elid磨削技術(shù)，作為非球面光學(xué)零件的實(shí)用制造技術(shù)，可使零件的最后拋光量減小到最小限度。

（摘自《超精密加工與測(cè)控技術(shù)論文集》1999年第12期 作者：楊福興 超精密加工技術(shù)國(guó)防科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室）