精密測試技術(shù)的未來發(fā)展方向解析
我們在此之前曾介紹過電子顯微鏡的發(fā)展趨勢和特點,總結(jié)電子顯微鏡的發(fā)展趨勢大概有這么幾個特點:
1.分辨率的提高
2.高性能
3.在納米材料研究中的應(yīng)用
4.計算機化和網(wǎng)絡(luò)化
5.ccd中的應(yīng)用 ..
所謂兩個極端就是指相對于現(xiàn)在測量尺寸的大尺寸和小尺寸.通常尺寸的測量已被廣為注意,也開發(fā)了多種多樣的測試方法.近年來,由于國民經(jīng)濟的快速發(fā)展和迫切需要,使得很多方面的生產(chǎn)和工程中測試的要求超過了我們所能測試的范圍,如飛機外形的測量、大型機械關(guān)鍵部件測量、高層建筑電梯導軌的準直測量、油罐車的現(xiàn)場校準等都要求能進行大尺寸測量;微電子技術(shù)、生物技術(shù)的快速發(fā)展,探索物質(zhì)微觀世界的需求,測量精度的不斷提高,又要求進行微米、納米測試。 (1).大尺寸的測量方法如工程大地測量方法是指將大地測量的某些原理和方法移植和改進到機械工程測量中,產(chǎn)生新的測量方法,還有其它一些測量大尺寸的方法,如激光跟蹤干涉三維尺寸測量系統(tǒng)。 (2).納米測試技術(shù)從生產(chǎn)制造的趨勢看,每十年要求容許誤差降低1/3,因此要求測量具有越來越高的精度,并可溯源到國際標準(iso).當然,納米測量也多種多樣,有光干涉測量儀、量子干涉儀、電容測微儀、x射線干涉儀、頻率跟蹤式法珀標準量具、掃描電子顯微鏡(sem)、掃描隧道顯微鏡(stm)、原子力顯微鏡(afm)、分子測量機m3(molecularmeasuringmachine)等。 4.測量方式向多樣化發(fā)展 (1).多傳感器融合技術(shù)在制造現(xiàn)場中的應(yīng)用多傳感器融合是解決測量過程中測量信息獲取的方法,它可以提高測量信息的準確性。 由于多傳感器是以不同的方法或從不同的角度獲取信息的,因此可以通過它們之間的信息融合去偽存真,提高測量精度。 (2).積木式、組合式測量方法白車身三維尺寸測量系統(tǒng)就屬于這類方法,也可以說它是柔性很好的專用坐標測量機,關(guān)鍵在于系統(tǒng)的建立。 (3).便攜式測量儀器如便攜式光纖干涉測量儀、便攜式大量程三維測量系統(tǒng)等,往往用于解決現(xiàn)場大尺寸的測量問題。 (4).虛擬儀器虛擬儀器是虛擬現(xiàn)實技術(shù)在精密測試領(lǐng)域的應(yīng)用,國內(nèi)已有深入的研究.一種是將多種數(shù)字化的測試儀器虛擬成一臺以計算機為硬件支撐的數(shù)字式的智能化測試儀器;另一種是研究虛擬制造中的虛擬測量,如虛擬量塊、虛擬坐標測量機等。 (5).智能結(jié)構(gòu)它屬于結(jié)構(gòu)檢測與故障診斷,是融合智能技術(shù)、傳感技術(shù)、信息技術(shù)、仿生技術(shù)、材料科學等的一門交叉學科,使監(jiān)測的概念過渡到在線、動態(tài)、主動的實時監(jiān)測與控制。 5.實現(xiàn)各種溯源的要求 (1).自標定、自校準高精度的測量要求高精度的溯源,很多情況下難以找到滿足精度要求的儀器,重要的原因是溯源制約著測量精度的發(fā)展,在一些情況下則可利用測量儀器的標定和虛擬測量方法,解決溯源問題。 (2).現(xiàn)場直接標定越來越多的測量儀器要求現(xiàn)場直接標定,很多還是三維的空間標定,發(fā)展現(xiàn)場標定技術(shù)和儀器是完成這些標定的關(guān)鍵。 (3).納米溯源納米測試的溯源也是個重要的問題.國外已有美國nist、德國ptb、日本nrim研究硅(220)晶體的晶面間距準確尺寸,元素晶格尺寸在恒溫下具有很好的穩(wěn)定性,可以用來建立納米溯源基準。 |

1.行業(yè)新聞、市場分析。 2.新品新技術(shù)(最新研發(fā)出來的產(chǎn)品技術(shù)介紹,包括產(chǎn)品性能參數(shù)、作用、應(yīng)用領(lǐng)域及圖片); 3.解決方案/專業(yè)論文(針對問題及需求,提出一個解決問題的執(zhí)行方案); 4.技術(shù)文章、白皮書,光學軟件運用技術(shù)(光電行業(yè)內(nèi)技術(shù)文檔);
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