什么是光柵測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)？光柵測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)是利用指示光柵線紋與標(biāo)尺光柵線紋干涉效應(yīng)產(chǎn)生的莫爾條紋進(jìn)行測(cè)量的光學(xué)系統(tǒng)。

光柵測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)主要由光源、光柵、透鏡和探測(cè)器等部分組成。光柵測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)見圖。光源發(fā)出的光，經(jīng)過望遠(yuǎn)系統(tǒng)變?yōu)槠叫泄猓�并照射到指示光柵與標(biāo)尺光柵上，在指示光柵與標(biāo)尺光柵的表面上就產(chǎn)生了莫爾條紋(指示光柵面積較小，與標(biāo)尺光柵同為柵距相等的長光柵)。改變兩塊光柵線紋的交角可以調(diào)整條紋的寬度，改變兩塊光柵間的距離可以調(diào)整條紋的清晰度。當(dāng)指示光柵與標(biāo)尺光柵相對(duì)移動(dòng)一個(gè)柵距時(shí)，莫爾條紋的光強(qiáng)周期地變化一次。光線經(jīng)由聚光鏡達(dá)到光敏元件被轉(zhuǎn)換為周期變化的電壓信號(hào)。這樣就得到了“位移~電壓”信號(hào)，再通過放大電路處理后由計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù)，使用數(shù)字顯示管顯示。

光柵測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖

若將標(biāo)尺光柵與被測(cè)工件連在一起，并和工作臺(tái)一起移動(dòng)，而指示光柵固定不動(dòng)，那么光柵的移動(dòng)與被測(cè)工件的移動(dòng)是一致的，這樣由計(jì)數(shù)器記錄脈沖數(shù)，便可計(jì)算出工件的位移。

光柵測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)具有精度高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于制造業(yè)、材料研究等領(lǐng)域。