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	ASML研發(fā)下一代EUV光刻機(jī)：分辨率提升70% 逼近1nm極限	光電資訊及信息發(fā)布	cyqdesign 2020-03-16	38	10003	by: tassy 2020-03-17 23:45
	中芯國際稱7nm EUV光刻機(jī)問題已解決技術(shù)研發(fā)步入正軌	光電資訊及信息發(fā)布	cyqdesign 2019-12-09	0	2328	by: cyqdesign 2019-12-09 20:29

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