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[求助]哪位在用光控的設(shè)備 [復(fù)制鏈接]

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離線(xiàn)囊中蓄乾坤

助理工程師

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2017-12-27

一直在做晶控設(shè)備，現(xiàn)在想了解一下光控是怎么控制膜厚的，設(shè)計(jì)導(dǎo)入怎么處理。請(qǐng)教各位，謝謝。

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離線(xiàn)奔跑的小駿馬

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2017-12-28

光控導(dǎo)入需要先進(jìn)行計(jì)算，就是用膜系設(shè)計(jì)軟件對(duì)你設(shè)計(jì)的每一層給定一個(gè)監(jiān)控波長(zhǎng)，然后算出回值比例，將這個(gè)比例以及你的監(jiān)控波長(zhǎng)導(dǎo)入膜系制程的對(duì)應(yīng)位置，監(jiān)控波長(zhǎng)要跟你計(jì)算折射率時(shí)候算出的光控TOOLING值相乘后帶入膜系制程中。
你用的什么鍍膜機(jī)？我們用的光馳跟昭不同的鍍膜機(jī)導(dǎo)法不一樣，但是原理都是一樣的。
附件是光控的一些知識(shí)點(diǎn)。


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