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樓主
發(fā)表于: 2017-12-27
一直在做晶控
設備
,現在想了解一下光控是怎么控制膜厚的,設計導入怎么處理。請教各位,謝謝。
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奔跑的小駿馬
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1樓
發(fā)表于: 2017-12-28
光控導入需要先進行計算,就是用膜系設計軟件對你設計的每一層給定一個監(jiān)控波長,然后算出回值比例,將這個比例以及你的監(jiān)控波長導入膜系制程的對應位置,監(jiān)控波長要跟你計算折射率時候算出的光控TOOLING值相乘后帶入膜系制程中。
J*CfG;Y:
你用的什么鍍膜機?我們用的光馳跟昭不同的鍍膜機導法不一樣,但是原理都是一樣的。
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