ouyuu:懷疑是排氣能力差異。 4kN:=g  
開鍍真空一樣嗎？都開充氧了嗎？充氧壓力多少？ (2018-02-02 09:16)  5Lo==jHif  

*;~{_Disz  
開鍍真空一樣，都是2E-3Pa，都開充氧了，目前最主要問題是穩(wěn)定性不好，有些Run次鍍出來是OK的，有些就不好，不知道是哪里造成的穩(wěn)定性差

dcfcwdx:[表情]單層的PEAK對(duì)比過，確實(shí)是有差異的，關(guān)鍵是怎樣調(diào)節(jié)折射率和吸收呢？ (2018-03-03 22:41)  ](( >i%%~  

k}owEBsn}  
是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ V-o`L`(F`  
如果是吸收，那就改善充氧。 <]SSgQ9/"  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 vo^9qSX f  

ouyuu:是什么差異呢？整體向上偏移？還是波峰更高，波谷更低？ ,f""|X5  
如果是吸收，那就改善充氧。 kIZdND&  
如果是折射率差異，那就改變蒸發(fā)速率。 8t 35j  
 (2018-03-06 13:05)  8QgL7  

|@9I5Eg)iE  
鍍TiO2單層來比較是，較差的機(jī)臺(tái)的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？

dcfcwdx:鍍TiO2單層來比較是，較差的機(jī)臺(tái)的波峰低，波谷高，也就是峰谷差小，還有，改善充氧就是改變APC壓力嗎？ (2018-03-13 20:40)  twS3J)UH  

D8{HOv;d^  
看起來像是折射率問題。 [1MEA;  
你這邊用離子源輔助嗎？ {EN@,3bA  
如果有，就改變一下離子源參數(shù) *g6o ;c  
如果沒有，就改一下電子槍速率看看。

ouyuu:看起來像是折射率問題。 #wiP{+%b  
你這邊用離子源輔助嗎？ 
b{Ss+F  
如果有，就改變一下離子源參數(shù) ]l%.X7M9  
如果沒有，就改一下電子槍速率看看。 (2018-03-15 23:35)  oy: MM  

uJ[Vv4N%9  
既然是折射率差異，那就直接按照兩臺(tái)機(jī)各自的折射率重新設(shè)計(jì)一下膜系不就好了么；如果要變更速率，那折射率不也一樣跟著變了，變量不就多了么。

5 ZPUY  
機(jī)臺(tái)不一樣，折射率是有差異的，這個(gè)差異在鍍膜厚是就明顯

奔跑的小駿馬:既然是折射率差異，那就直接按照兩臺(tái)機(jī)各自的折射率重新設(shè)計(jì)一下膜系不就好了么；如果要變更速率，那折射率不也一樣跟著變了，變量不就多了么。 (2018-03-23 11:51)  %nF\tVP3]  

*wcoDQ b;  
一般不建議改膜系，膜系不一致會(huì)帶來更多問題。 kZ%W?#  
而且隨著設(shè)備使用，說不定折射率還會(huì)變的，你就不停改膜系？ \;gt&*$-  
折射率則簡(jiǎn)單很多，找到影響折射率的因素這才是關(guān)鍵。 *PU,Rc()6  
Z]\^.x9S  
其實(shí)也不叫變更速率，水晶設(shè)置有一項(xiàng)叫TOOLING，這個(gè)TOOLING值改變一下就相當(dāng)于改了速率。

現(xiàn)在膜系成熟了沒有？？