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[下載]光學元件表面缺陷檢測方法研究現(xiàn)狀 [復制鏈接]

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技術(shù)專家

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2018-02-14

關鍵詞：光學元件

隨著科學技術(shù)的發(fā)展，人們對光學元件的表面粗糙度和表面面形精度提出了越來越高的要求，光學元件表面缺陷檢測技術(shù)也受到了廣泛重視。通過簡述表面缺陷的類型，強調(diào)了缺陷給光學系統(tǒng)帶來的危害，由此分析和討論了目前國內(nèi)外對光學元件疵病的檢測方法，并指出各種方法的優(yōu)缺點，同時對機器視覺技術(shù)在疵病檢測方面的應用進行了介紹，還探討了光學元件表面缺陷檢測技術(shù)未來發(fā)展需要注意解決的問題。

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