鎳的熔點(diǎn)很低的,最初的射頻源中和器陰極大多數(shù)采用鎳。 =`EVg>+^
現(xiàn)在隨著離子源能量的提高,原廠中和器陰極應(yīng)該是用的其他耐高溫金屬。 &Db'}Y?x]
不過鎳杯這個(gè)名稱被沿襲下來了。 R^VmNj
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你是要防止陰極氧化還是防止陰極蒸發(fā)? Uqd2{fji=#
防止氧化的話只有提高氬氣純度,增加鍍膜后的冷卻時(shí)間。 M?v`C>j
防止陰極蒸發(fā)的話,就必須用原廠陶瓷。 '>Uip+'
副廠陶瓷絕緣性不好,電流損耗大,會造成過熱。