離子源的Beam ，ACC，RF和RFN之間有什么聯(lián)系以及它們各自的名稱和作用

頂一下，同問(wèn)這個(gè)問(wèn)題

頂一下，同問(wèn)這個(gè)問(wèn)題

離子輔助沉積 m\L`$=eO8  

光弛原理和新柯隆差不多。 !6!)H8rX  
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就新柯隆來(lái)講：三片柵網(wǎng)，從下到上為ACC，SUP，GND x< A-Ws{^V  
ACC加1000V左右電壓，離子從放電室（石英碗）擠出之后，靠ACC獲得初速度。 1/.BP  
SUP加-300-700V左右電壓，防止電子進(jìn)入放電室。 +V3mF_s|z  
GND就是接地，并起到保護(hù)SUP電極的作用。（東西掉在柵網(wǎng)上不會(huì)造成短路，打火） .H" ?&Mf  
o*cu-j3  
中和器T腳加1000V脈沖打火，電子足夠多后發(fā)生電離連鎖反應(yīng)。 (Xd8'-G$m  
然后K腳（陰極產(chǎn)生電子）和A腳（陽(yáng)極拉出電子）加上電壓，通過(guò)調(diào)節(jié)A腳電壓調(diào)節(jié)電子數(shù)量。

射頻沒(méi)啥好講的，就是產(chǎn)生一個(gè)震蕩的電磁場(chǎng)，讓帶電顆粒受電磁場(chǎng)影響不斷在放電室震蕩。 Ep7MU&O0iK  
帶電顆粒震蕩時(shí)有更大的幾率碰撞到氣體分子，使其電離，這樣連鎖反應(yīng)就產(chǎn)生了。

感謝大佬分享  ;
Shu