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    [分享]光學斷層掃描干涉法 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2018-05-30
    摘要 |MXv  w6P  
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    掃描干涉法是實現(xiàn)表面高度測量的技術。通過利用白色光源的低相干性,只有當光程差在相干長度內,干涉圖案才會出現(xiàn)。因此,它使精確微觀測量成為可能。使用一個氙燈搭建了一個邁克耳孫干涉儀,用于測量具有平滑變化前表面的樣品。 Ayi Uz  
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