[p:1]化學(xué)鍍膜最早用于在光學(xué)元件表面制備保護(hù)膜。隨后,1817年,F(xiàn)raunhofe在德國(guó)用濃硫酸或硝酸侵蝕玻璃,偶然第一次獲得減反射膜,1835年以前有人用化學(xué)濕選法淀積了銀鏡膜它們是最先在世界上制備的光學(xué)薄膜。后來,人們?cè)诨瘜W(xué)溶液和蒸氣中鍍制各種光學(xué)薄膜。50年代,除大快窗玻璃增透膜的一些應(yīng)用外,化學(xué)溶液鍍膜法逐步被真空鍍膜取代。
nAT,y9& 真空蒸發(fā)和濺射這兩種真空物理鍍膜工藝,是迄今在工業(yè)撒謊能夠制備光學(xué)薄膜的兩種最主要的工藝。它們大規(guī)模地應(yīng)用,實(shí)際上是在1930年出現(xiàn)了油擴(kuò)散泵---機(jī)械泵抽氣系統(tǒng)之后。
u.rFZu?E\ 1935年,有人研制出真空蒸發(fā)淀積的單層減反射膜。但它的最先應(yīng)用是1945年以后鍍制在眼鏡片上。1938年,美國(guó)和歐洲研制出雙層減反射膜,但到1949年才制造出優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品。1965年,研制出寬帶三層減反射系統(tǒng)。在反射膜方面,美國(guó)通用電氣公司1937年制造出第一盞鍍鋁燈。德國(guó)同年制成第一面醫(yī)學(xué)上用的抗磨蝕硬銠膜。在濾光片方面,德國(guó)1939年試驗(yàn)淀積出金屬—介質(zhì)薄膜Fabry---Perot型干涉濾光片。
ANuO(^ 在濺射鍍膜領(lǐng)域,大約于1858年,英 國(guó)和德國(guó)的研究者先后于實(shí)驗(yàn)室中發(fā)現(xiàn)了濺射現(xiàn)象。該技術(shù)經(jīng)歷了緩慢的發(fā)展過程。1955年,Wehner提出高頻濺射技術(shù)后,濺射鍍膜發(fā)展迅速,成為了一種重要的光學(xué)薄膜工藝。現(xiàn)有兩極濺射、三極濺射、反應(yīng)濺射、磁控濺射和雙離子濺射等淀積工藝。
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