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[分享]離軸非球面反射鏡檢測方法的研究 [復制鏈接]

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離線gangzi0801

技術專家

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2018-08-23

關鍵詞：非球面反射鏡

隨著非球面的廣泛應用，非球面的檢測也顯得尤為重要。本文針對多種類型的非球面鏡開展其檢測方法的研究，如離軸凸拋物面，離軸凹拋物面，離軸凸雙曲面，離軸凹雙曲面，離軸凸橢球面，離軸凹橢球面。主要通過無像差點檢驗和補償法檢驗對不同的類型的非球面的檢測方法進行研究，并使檢測方案滿足目前采用的ZYGO干涉檢測或4D干涉檢測。


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