薄膜對光有反射,透過,吸收,散射等作用。 zz~AoX7V6
薄膜發(fā)霧(對于因為基板本身臟或者帶電吸附粉塵等問題此處略過)一般是因為散射。 j@+QwZL|
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散射一般分為:瑞利散射,米氏散射,幾何光學近似 gls %<A{C
散射發(fā)生的位置一般分為:表面(和空氣接觸面),界面(層與層的過渡面),粒子(結晶) q+/7v9
表面和界面發(fā)生的散射一般是因為真空度過低造成的,適當提高真空度可以改善。 2YL)"
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界面的散射還可以提高離子源能量(用離子源將表面打平)來改善。 MZInS:Vj
結晶造成的散射,則需要靠改變溫度來調整結晶大小。 q_|YLs`
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具體問題具體分析,這個需要自己來判斷。其實解決問題的過程,也是自我學習自我提高的過程。