薄膜對光有反射，透過，吸收，散射等作用。 zz~AoX7V6
薄膜發(fā)霧（對于因為基板本身臟或者帶電吸附粉塵等問題此處略過）一般是因為散射。 j @+QwZL|
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散射一般分為：瑞利散射，米氏散射，幾何光學近似 gls %<A{C
散射發(fā)生的位置一般分為：表面（和空氣接觸面），界面（層與層的過渡面），粒子（結晶） q+ / 7v9
表面和界面發(fā)生的散射一般是因為真空度過低造成的，適當提高真空度可以改善。 2YL)"
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界面的散射還可以提高離子源能量（用離子源將表面打平）來改善。 MZInS:Vj
結晶造成的散射，則需要靠改變溫度來調整結晶大小。 q_ |YLs`
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具體問題具體分析，這個需要自己來判斷。其實解決問題的過程，也是自我學習自我提高的過程。
