摘要：光學自由曲面元件如離軸非球面等在現(xiàn)代光學系統(tǒng)中起到了越來越重要的作用。計算全息元件(CGH)可產(chǎn) 生任意形狀的波前，能夠很好地應(yīng)用在光學自由曲面的零位補償干涉測量中。針對一離軸橢球面為測量樣品，以 光學計量領(lǐng)域比較成熟的 Offner 補償器法，測量離軸非球面母鏡的面形偏差，進而獲得離軸橢球面的面形偏差；再 將離軸橢球面通過旋轉(zhuǎn)平移，作為自由曲面元件，在平面基板上設(shè)計 CGH 對其進行零位補償測量，研究零位補償 CGH 的誤差傳遞數(shù)據(jù)。通過主要原理誤差分析與計算，在光學熔石英平面基底上制作零位補償 CGH，測量不確定 度達到λ/10[峰谷(PV)值, λ=0 .6328 μm]，滿足光學自由曲面元件的高精度檢測要求。 d":{a6D*d
6ns_4,
e
關(guān)鍵詞：測量；計算全息；光學自由曲面；離軸非球面；Offner 補償器
