摘要
s4!|v`+$M V;M3z9xd 系統(tǒng)性地研究
參數(shù)變化對(duì)于復(fù)雜
光學(xué)系統(tǒng)的評(píng)估是很重要的。 VirtualLab Fusion通過(guò)所謂的參數(shù)掃描
功能實(shí)現(xiàn)參數(shù)的變化。 通過(guò)使用參數(shù)掃描,該變化可以任意配置,具體取決于分析任務(wù)的需求。 此外,特殊的可
編程模式允許自由配置,以提供完全可定制的參數(shù)變化。 在示例中,呈現(xiàn)了該可編程模式的應(yīng)用。
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;+S2h-4 ON:LPf>"- 參數(shù)掃描初始化
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}~7H2d);- j4.Qvj >:4 參數(shù)選擇和變化范圍
Q3 K;kS e-nWD •在第二頁(yè)上,必須選擇參數(shù)運(yùn)行的模式。
N{?Tm`"" •在下表中,可以選擇變化的所需參數(shù),以及相應(yīng)的范圍和變化步驟數(shù)量。
?q+8 /2 •在此示例中,矩形
光柵的周期和高度被設(shè)置為變量。
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'e+-,CGdY\ !X \Sp} 參數(shù)掃描的定制
4v rm&k [X0k{FR •接下來(lái),基本的C#代碼可以幫助配置所選參數(shù)的變化。
Z\ "Kd •例如,周期線性變化,而高度隨機(jī)設(shè)置。
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?K= gg< •在下一頁(yè)上,配置的參數(shù)掃描迭代次數(shù)為顯示如下。
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eY0Ly7 K8yWg\K 參數(shù)掃描的設(shè)置
5Ws:Ei{R &4ug3 •接下來(lái),對(duì)于參數(shù)掃描的所有模式,所需的
模擬引擎和/或分析儀必須被選擇。
17MN8SfQ •在此示例中,僅使用光柵級(jí)次分析儀。
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jMWpZ •然后單擊“Go!”以開(kāi)始計(jì)算。
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