請問大家，為什么修改tooling膜的厚度也會變化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？謝謝！

TOOLING是個比例。 B
S+N   
因為位置，角度，遮擋的不同， #W!@j"8eK  
膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。

定義上，膜厚儀中材料 Tooling =  樣品上層厚度/晶振片上層厚度 v0=^Hym  
如ouyuu說，就是個比例系數(shù)。 tR0o6s@v/<  
有了這個參數(shù)，鍍膜時，膜厚儀上的顯示厚度就等同于是樣品上的厚度。 R2t5T-8`c  
kQ{pFFO  
!:rQ@PSy9  

改變了tooling參數(shù)，那么晶控儀為達到同樣的樣品厚度（設計厚度），監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實 比例 未變，那樣品上的厚度也必將變化。 )Q6R6xW  

morningtech:改變了tooling參數(shù)，那么晶控儀為達到同樣的樣品厚度（設計厚度），監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實 比例 未變，那樣品上的厚度也必將變化。 tjuW+5O  
 (2018-10-17 11:57)  p,$1%/m  

.nKyB'uV  
問題是：晶振 頻率變化與質量增加之間是存在公式，根據(jù)每秒頻率的變化確認厚度的變化， 晶控讀數(shù)不變，頻率變化也是不變化的，更改tooling是改變了膜厚儀什么地方使得實際厚度變了？

ouyuu:TOOLING是個比例。 vD[@cm  
因為位置，角度，遮擋的不同， (+>+@G~o  
膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。 (2018-10-17 08:46)  f8lB 阳泉市| 贞丰县| 富顺县| 庆元县| 监利县| 海宁市| 措美县| 道孚县| 加查县| 开封县| 郓城县| 寿光市| 攀枝花市| 望谟县| 哈密市| 丰宁| 刚察县| 金秀| 陈巴尔虎旗| 永丰县| 安仁县| 长汀县| 周宁县| 新干县| 台安县| 呼伦贝尔市| 康平县| 临邑县| 大庆市| 荆州市| 赣榆县| 石河子市| 盐城市| 南皮县| 宿迁市| 安丘市| 芜湖县| 宜州市| 肥东县| 股票| 虹口区|