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[求助]鍍完膜后發(fā)霧 [復制鏈接]

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離線liuwenbo1991

實習生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2018-10-17

基材：SI片膜料：GE+ZNS 鍍膜波段近紫外到14um，電子槍蒸發(fā)鍍膜，Mark II+離子源。鍍完膜后SI片發(fā)霧，通過調(diào)節(jié)鍍膜工藝（包括鍍膜溫度，材料沉積速率，離子源參數(shù)等等后依然發(fā)霧，哪位大咖有遇到過這種問題，幫忙解惑，謝謝

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離線rexchou

技術(shù)員

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2018-10-19

之前遇過發(fā)霧情況,是離子源被汙染到.
請參考~

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離線ouyuu

論壇版主

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2018-10-20

我覺得可能是MARKii離子源能量不夠造成的。
MARK II離子源的特性是電流很大，電壓不高。
離子束的密度（電流）夠了，但是離子速度（電壓）不夠的話，
結(jié)晶大小還是沒法改變。

樓主的設(shè)備加熱能到350度以上嗎？

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離線yangpaopao

助理工程師

發(fā)帖: 146

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2018-10-23

SI片不知道，熔石英鏡片出過同樣的問題，硅片加工完到你鍍膜前肯定被污染過，或者酒精等擦過

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離線dede

助理工程師

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2019-10-14

頂一下

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離線jakzhou

技術(shù)員

發(fā)帖: 286

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2019-11-17

鍍膜溫度過高，氧化鈦高溫下結(jié)晶發(fā)霧！

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離線王少偉

實習生

發(fā)帖: 74

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2020-03-05

真空度不夠

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