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haohan930311
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關(guān)鍵詞:
ZEMAX
光學(xué)
干涉儀
問題描述:如何在
Zemax
軟件
中正確輸入ZYGO干涉儀的檢測到的面形
參數(shù)
。
wn/_}]T
fF7bBE)L/|
通過某些檢測手段或者檢測技術(shù),可以得到以ZYGO干涉儀中的36項(xiàng)zernike fringe系數(shù)進(jìn)行表征(Z1-Z36),如下圖所示。
X=
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