對
設(shè)備來講，我覺得最重要的方面是設(shè)備的安全性。在安全性上有缺陷的設(shè)備是不能使用的。
}5 ?|iUH| 鍍膜機其實是很危險的設(shè)備，有電、高溫、真空、
機械、輻射、光、噪音、有毒有害物質(zhì)等方面的危險。
57$/Dn 下面談談這幾個方面需要注意的地方。
S's I[?\x 1.電： 電子槍離子源都有超過1000V的高壓，打掃這些地方記得關(guān)閉
電源并等待10分鐘。
1 w> G8 設(shè)備的加熱絲接頭，設(shè)備控制柜接線，擴散泵加熱器接線這些地方也是裸露的，容易觸電。
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Fxr 2.高溫：設(shè)備剛鍍完膜冷卻不夠時，傘架和離子源
電子槍容易燙傷人。離子源冷卻不夠還會導致電極氧化，陶瓷破裂。
Q RER[8]r$ 設(shè)備開門時，烘烤加熱絲（加熱腔壁防止水汽吸收）和擴散泵加熱絲也容易燙傷。
o^ BX:\} 3.真空：設(shè)備打掃的時候，人員會進入真空腔體內(nèi)部，此時會非常危險。
PC)V".W 1 有的設(shè)備在控制柜上設(shè)置了真空鎖，進入腔體前打開真空鎖，拔去鑰匙，設(shè)備就無法抽真空。
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