系統(tǒng)中存在分光鏡，且各分光支路的光軸平行性精度為5″以內(nèi)，求助各位大神采用什么方法和儀器調(diào)整光路平行，且分光鏡調(diào)試方法！！求解

最好能把光路放上來(lái)看看 你這么描述我太直觀 ?D#]g[6  

放個(gè)簡(jiǎn)單的光路圖

有相關(guān)資料，網(wǎng)上有可以搜一下

角度秒級(jí)是百萬(wàn)分之一，相當(dāng)于在一米平行光管焦面上分辨0.001mm的變動(dòng)。首先將3只光管光丁字分布，在一橫方向的2光管相對(duì)放置，左面第一個(gè)光管的十字被右面第二個(gè)光管接受，且與十字分劃嚴(yán)格重合，然后在丁字口處放置五棱鏡（因?yàn)槲謇忡R本身放置誤差不影響光線折轉(zhuǎn)90度，），在豎的方向放置第三個(gè)光管，且與第一個(gè)光管的十字分劃嚴(yán)格重合。這時(shí)在丁字口放上分光鏡，讓分光鏡前表面光線返回第一光管十字中心，這時(shí)在2、3光管看到相對(duì)中心的偏離，就是分光鏡光軸誤差。

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ds1234567:角度秒級(jí)是百萬(wàn)分之一，相當(dāng)于在一米平行光管焦面上分辨0.001mm的變動(dòng)。首先將3只光管光丁字分布，在一橫方向的2光管相對(duì)放置，左面第一個(gè)光管的十字被右面第二個(gè)光管接受，且與十字分劃嚴(yán)格重合，然后在丁字口處放置五棱鏡（因?yàn)槲謇忡R本身放置誤差不影響光線折轉(zhuǎn)90度，），在豎 .. (2019-04-05 16:27)  u-j$
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謝謝回復(fù)。 V
jj30f  
五棱鏡90度的角度誤差如何考慮進(jìn)去？

五棱鏡有1秒精度的商品，主要影響來(lái)自45度角的誤差。如果不用五棱鏡的話，可以用氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)承載分光鏡，首先左右光管對(duì)準(zhǔn)，然后放上五棱鏡，在它的上面放置第三個(gè)光管。在度盤0度時(shí)三管對(duì)準(zhǔn)，度盤180分別在右面和上面的光管看到分光鏡的誤差。分光鏡的兩塊直角鏡的折射率應(yīng)當(dāng)一致，大于3*10^-5,給出射光線帶來(lái)誤差，此外膠合應(yīng)力和膠層均勻性也會(huì)影響。這些在干涉儀上可以看到，如果可能的話，可以在zygo上調(diào)整系統(tǒng)。

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