Design Tool中,EdgeFilter的
功能是可以用來幫助設(shè)計(jì)邊緣濾波器的
結(jié)構(gòu)。一個(gè)簡單的邊緣濾波器是基于四分之一堆棧的,在基板和入射介質(zhì)旁邊的幾個(gè)匹配層可以用來抑制通帶波紋。當(dāng)傾斜時(shí),高反射率區(qū)的寬度對(duì)S偏振光有增大的趨勢(shì),對(duì)P偏振光有減小的趨勢(shì),導(dǎo)致
偏振分離。四分之一
波長堆棧不容易得到顯著改善,但是Thelen 已經(jīng)表明五層對(duì)稱周期是可以作為邊緣濾波器的基礎(chǔ)的,其中p和s偏振邊緣可以重合。嚴(yán)格來說,這只是在一個(gè)入射角,但經(jīng)驗(yàn)表明,在一定
角度范圍內(nèi)分裂非常小。邊緣濾波器工具可以找到這樣一個(gè)對(duì)稱的周期,并設(shè)計(jì)一個(gè)非偏振邊緣濾波器。該工具使用迭代技術(shù)來識(shí)別所有可能的組合,并找到通帶寬度和禁帶寬度的最佳組合,但是后者受到一定限制。
VsrYU@V [PI!.9H 圖1顯示了
參數(shù)對(duì)話框。設(shè)置了兩種
材料的五層周期,入射角,入射介質(zhì)和周期數(shù)。該工具沒有解決紋波問題,如圖2所示。在這里,用SiO2當(dāng)最外層最好。最后一步是鎖定所有層,然后對(duì)一些最外層進(jìn)行
優(yōu)化以減少波紋。在這種特殊情況下,每側(cè)的12個(gè)層都經(jīng)過了優(yōu)化,以得到圖3中的性能。
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