摘要：納米精度光學表面在光刻技術、同步輻射、空間觀測和慣約聚變等領域有重大需求。隨著裝備 性能需求的不斷提升，這些光學系統對光學零件面形精度和表面質量的要求幾乎接近于物理極限，對光學制 造技術提出了更高挑戰(zhàn)，使光學制造成為納米制造技術的發(fā)展前沿。通過攻克納米量級材料去除的穩(wěn)定性、 復雜曲面可控補償和裝備運動軸性能設計等關鍵問題，掌握了以磁流變和離子束拋光技術為代表的可控柔 體拋光技術，利用自主研發(fā)的拋光制造裝備和工藝實現了典型光學零件的納米精度制造，為國家相關科技項 目的順利實施提供有力的制造技術支撐。 >>HC|  
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