由于光譜儀的尺寸限制，微型光譜儀在滿足一定光譜范圍時，其分辨力往往難以小于0.1 nm。而一些特殊應(yīng)用場合要求光譜儀不僅具有微小的尺寸，還要求具有極高的光譜分辨力。本文基于Zemax光學(xué)設(shè)計軟件，通過選擇合適的初始結(jié)構(gòu)參數(shù)與評價函數(shù)，自動優(yōu)化準(zhǔn)直鏡、聚焦鏡、柱透鏡、光柵，以及CCD間傾角和距離，設(shè)計出光譜分辨力高達(dá)0.05 nm，尺寸為90 mm×130 mm×40 mm的Czerny-Turner結(jié)構(gòu)微型光譜儀。在此基礎(chǔ)上優(yōu)化出8個光柵傾斜角度，使微型光譜儀光譜分辨力在優(yōu)于0.05 nm的同時，波段范圍達(dá)到了820 nm~980 nm。所設(shè)計的光譜儀具有超高的光譜分辨力、微小的外形尺寸與適中的光譜范圍等特點。
