摘自User's Manual 10.3.1.3節(jié) Nk -xnTZ"
波前方差是像質(zhì)的有用度量，VARIANCE命令可以計算方差、標(biāo)準(zhǔn)偏差、X和Y中的圖像點(diǎn)。后兩個量給出了參考球面中心的位置，在該位置方差被最小化，如果該分析是多色的，從所請求的色差或主色差的主要光線點(diǎn)測量。這是對衍射圖樣的峰值位置的一個有用的近似，只要OPD誤差小于一個波長。對于畸變非常重要的透鏡，比如顯微光刻物鏡，我們希望控制這個位置，而不是僅僅控制主光線截距的位置——這是校正畸變的一個更常見的目標(biāo)。本節(jié)描述的像差允許我們這樣做。格式是: ?84f\<"
M TAR WT A { ICOL /P / M } WVAR HBAR GBAR NRYS <FkaH8,7
M TAR WT A { ICOL /P / M } WSTD HBAR GBAR NRYS dY$nw
M TAR WT A { ICOL /P / M } YIP HBAR GBAR NRYS ? 3DFm
M TAR WT A { ICOL /P / M } XIP HBAR GBAR NRYS T$MXsq
M TAR WT A { ICOL /P / M } IPX HBAR GBAR NRYS ("=q-6$G
M TAR WT A { ICOL /P / M } IPY HBAR GBAR NRYS :1f,%Z$,q
它們在AANT文件中。XIP和YIP的值給出了從參考點(diǎn)到像點(diǎn)的距離，接近衍射圖樣的峰值。參考點(diǎn)是在請求的色差中，或如果請求多色“M”則在主色差中，在請求的視場角處的主光線點(diǎn)。WVAR返回波前方差，WSTD返回方差的平方根，即波前的標(biāo)準(zhǔn)偏差。 5w>TCx
IPX和IPY是相關(guān)的，但是不同。在這里，程序找到像點(diǎn)，然后也找到軸上物體的對應(yīng)點(diǎn)。返回值是X和Y的差值，單位是透鏡單位。因此，如果軸上像是完美的，計算返回在請求的視場處像點(diǎn)的位置。如果軸上像點(diǎn)有非零坐標(biāo)(例如，由于軸向彗差)，從該點(diǎn)而不是從頂點(diǎn)測量返回值。因此，為了控制畸變，目標(biāo)是所需的圖像比例與IPX或IPY返回的值之差。 oVk!C a
用VARIANCE進(jìn)行計算，追跡大約NRYS條光線并找到所需的量。 lW-G]V
