摘要：突破傳統(tǒng)光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)計(jì)理論和方法,將自由曲面引入光學(xué)成像系統(tǒng)中,極大地提高了系統(tǒng)的成像質(zhì)量和能量的傳輸效率;采用先進(jìn)數(shù)控超精密制造技術(shù)加工自由曲面光學(xué)元件,解決了自由曲面光學(xué)元件加工的技術(shù)瓶頸。開(kāi)發(fā)了自由曲面控制網(wǎng)格的節(jié)點(diǎn)矢量的精確計(jì)算方法,以及多軸超精密數(shù)控加工光學(xué)自由曲面的自動(dòng)編程及其刀具軌跡仿真系統(tǒng),建立了自由曲面三維拓?fù)漕A(yù)測(cè)模型與優(yōu)化系統(tǒng),研發(fā)了多個(gè)自由曲面測(cè)量及評(píng)估方法,并搭建了自由曲面光學(xué)設(shè)計(jì)、加工、測(cè)試一體化的集成平臺(tái)。上述核心技術(shù)有助解決國(guó)際上對(duì)復(fù)雜自由曲面光學(xué)元件在超精密加工及納米級(jí)表面測(cè)量中的關(guān)鍵技術(shù)難題。研究成果推動(dòng)了超精密加工及納米測(cè)量領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)進(jìn)步。 dh\'<|\K
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關(guān)鍵詞： 光學(xué)自由曲面； 超精密加工； 曲面測(cè)量； 光學(xué)設(shè)計(jì)； 集成系統(tǒng)
