今天的案例主要是用于模擬抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)建模與分析，分析具有亞波長(zhǎng)范圍特征尺寸的結(jié)構(gòu)對(duì)于波長(zhǎng)和角度依賴性的關(guān)系，主要采用傅里葉模態(tài)法進(jìn)行光柵設(shè)計(jì)，首先通過(guò)參數(shù)掃描得到初始解，其次通過(guò)參數(shù)優(yōu)化對(duì)初始解的光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，最后分析優(yōu)化結(jié)果。