synopsys光學(xué)設(shè)計(jì)軟件中的鬼像控制 JfTfAq]
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鬼像是由一個(gè)或多個(gè)折射面反射引起的。SYNOPSYS可以評(píng)估和控制兩種類型的鬼像:GHOST程序可以確定在像面上哪個(gè)表面組合對(duì)鬼像負(fù)責(zé),BGI可以評(píng)價(jià)在透鏡系統(tǒng)內(nèi)的另一個(gè)位置處形成的鬼像的特性。 lEfBe)7+
為了從選擇的近軸鬼像控制圖像的彌散斑的大小,輸入 DuF7HTN[K
M TAR WTA PGHOST JREFH JREFL 7Qh_8M
M TAR WTA PUGHOST JREFH JREFL @8"18HEp#
第一個(gè)是PGHOST,用于控制物空間中一個(gè)點(diǎn)的近軸鬼像的彌散斑大小。這是通常的鬼像情況,其中在視場(chǎng)的一部分中的亮物體在另一部分中形成鬼像。第二個(gè)是PUGHOST,用于控制入瞳上的點(diǎn)的鬼像的大小。
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假設(shè)由表面15和表面9的反射產(chǎn)生的鬼像在像平面處清晰地聚焦。鬼像越小越清晰,可以通過增加彌散斑的大小來降低它的強(qiáng)度。假設(shè)想讓鬼像的彌散斑半徑不小于5 mm。以下是如何在AANT文件輸入中將其定位為這個(gè)值: #'>?:k
M 5 1 A PGHOST15 9 cw+g
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由于較大的鬼像不是缺陷,因此提供單側(cè)像差常常較好: a{_ KSg
LL 5 .1 4 1 e~Hr(O+;e6
A PGHOST 15 9 G+yL;G/
在這里,如果鬼像半徑為5.0,缺陷值為0.1;如果半徑為4.0,缺陷值為1.0。注意,像差的返回值總是正的,因此目標(biāo)值也應(yīng)該是正的。 /S/aUvN
如果使用此特性進(jìn)行優(yōu)化,請(qǐng)不要打開開關(guān)47。該選項(xiàng)用于對(duì)單個(gè)鬼像進(jìn)行詳細(xì)分析,如果該開關(guān)設(shè)置用于優(yōu)化,則會(huì)產(chǎn)生大量不必要的顯示輸出。 Igjr~@#
與GHOST命令類似,如果開關(guān)49打開(但不用于PUGHOST),該特性將通過所估計(jì)的衍射斑半徑增大所計(jì)算的近軸鬼像半徑。 ozxYH],
也可以控制在鏡頭系統(tǒng)中形成的鬼像的大小(一個(gè)"隱藏的鬼像")。這在高功率激光系統(tǒng)中是有用的,來自透鏡表面反射的鬼像如果清晰地聚焦可能會(huì)對(duì)元件造成損傷。這種控件的輸入是 wZv-b*4
M TAR WTA BGI JREFL JHOT O3ZM:,.
JREFL是反射光線的表面,而JHOT則是想要監(jiān)視光通量來防止損傷的表面。這種控制方式也推薦使用LL形式。因此,要確保從表面41反射的鬼像的光束半徑在表面9大于0.2個(gè)單位,可以在評(píng)價(jià)函數(shù)中輸入 '\L0xw4
LL 0.2 .01 0.15 A BGI 41 9 ny`(f,)u*
這個(gè)例子給出了0.01的懲罰如果鬼像半徑為0.2,如果鬼像半徑為1.5,則懲罰為5。注意,該控制應(yīng)用于彌散斑半徑的絕對(duì)值,因此該程序假設(shè)一個(gè)大的正值或負(fù)值,隨情況需要。 ZT9IMihV
還要注意,PGH和BGI控制都是近軸量,不涉及真正的光線追跡。因此,他們忽略了孔徑、傾斜和偏心。這兩種都接受開關(guān)49,如果打開此開關(guān),將估計(jì)的衍射斑半徑加到計(jì)算的幾何鬼像半徑。