摘要：為瞬態(tài)測(cè)量大口徑光學(xué)元件波前，提出一種基于斜入射結(jié)構(gòu)的近紅外反射式錯(cuò)位點(diǎn)衍射干涉原理的 Φ400 mm 瞬態(tài)波前檢測(cè)方法。該方案將待測(cè)光分成兩束互相錯(cuò)位的參考光與測(cè)試光，從而在干涉圖中引入高線性載頻，采集到 對(duì)比度良好的干涉圖后，利用傅里葉變換相位解調(diào)法從單幅干涉圖中提取待測(cè)波前相位，實(shí)現(xiàn)瞬態(tài)波前動(dòng)態(tài)測(cè)量。實(shí) 驗(yàn)光路總長(zhǎng)近 20 m，極易受氣流的影響，且由于氣流干擾隨時(shí)間變化，該系統(tǒng)本身可以看作是大口徑光學(xué)元件瞬態(tài) 波前發(fā)生與檢測(cè)裝置。測(cè)試結(jié)果與 SID4 波前傳感器比較，波前均方根（RMS）小于 1/50 λ，可知所提方法可以實(shí)現(xiàn) 大口徑瞬態(tài)波前的高分辨率與高精度檢測(cè)。 ,q".d =6
s?9$o
Qq1
關(guān)鍵詞：光學(xué)測(cè)量；點(diǎn)衍射干涉儀；大口徑；瞬態(tài)波前
