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離線ka2012

技術(shù)專(zhuān)家

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2019-06-19

關(guān)鍵詞：鍍膜有限元

摘要：利用有限元法對(duì)基片鍍膜引起的變形量進(jìn)行了模擬，通過(guò)數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換將模擬結(jié)果輸入Metropro 8.3.5面形處理軟件，得到了低頻面形參數(shù)變化量。對(duì)比模擬結(jié)果與實(shí)測(cè)結(jié)果，發(fā)現(xiàn)兩者非常接近。利用該方法實(shí)現(xiàn)了形狀復(fù)雜、口徑較大鍍膜基片面形參數(shù)變化量指標(biāo)的預(yù)估，使得鍍膜元件面形主動(dòng)量化控制成為可能。

關(guān)鍵詞：薄膜，低頻面形參數(shù)，有限元模擬，大口徑基片

附件:

鍍膜元件低頻面形參數(shù)的有限元模擬及分析方法.rar (1454 K) 下載次數(shù):11 ，售價(jià):2光幣[記錄](méi)

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ouyuu	光幣 +11	優(yōu)秀文章，支持！	2019-06-19
cyqdesign	光幣 +5	-	2019-06-19

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離線wangqinqinmm

助理工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2019-06-21

針對(duì)透鏡還是窗口

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離線驀然知回路

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2021-03-26

是平面嗎？非球面這種的能算嗎？

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