摘要：針對目前國內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低，測量范圍小等問題，提出了一種采用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件預(yù)先仿真整個激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學(xué)特性的基礎(chǔ)上，結(jié)合具體要求設(shè)計(jì)了一個激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)，其工作范圍為( 50 ±10) mm。采用系統(tǒng)分割的方法，將整個光學(xué)系統(tǒng)分為兩部分進(jìn)行設(shè)計(jì)，第一部分是激光束的整形透鏡，要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑，設(shè)計(jì)結(jié)果表明，在測量范圍內(nèi)，光斑大小能夠控 制在10-1mm量級；另一部分是被測面散射光接收的成像物鏡，該系統(tǒng)的特點(diǎn)是物面和像面相對于光軸都有一定的角度，實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明其成像滿足Scheimpflug條件。 k< RaC=
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關(guān)鍵詞：激光位移傳感器；激光三角法；整形鏡；成像透鏡；光學(xué)設(shè)計(jì)
