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發(fā)表于: 2019-08-26
Ta2O5/SiO2兩層膜反演material,跟filmwizard反演結(jié)果相差極大,本來SiO2厚度差40%,計(jì)算結(jié)果為8%,filmwizard算的比較準(zhǔn)。
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