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FIB含義： gXrXVv<)yw  
聚焦離子束（Focused Ion beam簡(jiǎn)寫(xiě)FIB)是將離子源(大多數(shù)FIB都用Ga，也有設(shè)備具有He和Ne離子源)產(chǎn)生的離子束經(jīng)過(guò)離子槍加速,聚焦后作用于樣品表面。作用： g7Xjo )  
1.產(chǎn)生二次電子信號(hào)取得電子像.此功能與SEM（掃描電子顯微鏡）相似 T9&-t7:  
2.用強(qiáng)電流離子束對(duì)表面原子進(jìn)行剝離,以完成微、納米級(jí)表面形貌加工。 FBDRb