掃描電子顯微鏡

發(fā)布：探針臺 2019-09-27 11:08 閱讀：2746

掃描電子顯微鏡，是自上世紀60年代作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學儀器，被廣泛地應用于化學、生物、醫(yī)學、冶金、材料、半導體制造、微電路檢查等各個研究領域和工業(yè)部門。如圖1所示，是掃描電子顯微鏡的外觀圖。

特點