摘要 yMQZulCWE  
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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 lBbUA)z6  
+EtL+Y(U  

圖片:1-191014101922T4.png

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建模任務(wù) B-@ ]+W  
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圖片:1-191014101951344.png

a<W[???m/M  
?x*Ve2+]  
入射平面波 "o=*f/M  
波長 2.08 nm Y'75DE<BC  
光斑直徑： 3mm Vh.9/$xQ  
沿x方向線偏振 K,VN?t<h  
@bc=O1vX~;  
如何進行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ rW~hFSrV[o  
如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布？ $[p<}o/6v]  
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概覽 'q#$^='o  
•樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 @435K'!  
•接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進行模擬。 C Rd1zDB  
A[/_}bI|  

圖片:1-19101410202X92.png

   X"S-f;b#  
光線追跡模擬 _o 2pyV&  
•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 8f^QO:  
•點擊Go！ PWwz<AI+  
•獲得3D光線追跡結(jié)果。 "1<>c/h  
O[N}@%HMW  

圖片:1-1910141020535H.png

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