摘要：本文提出了一種改良的檢測(cè)方法用于實(shí)現(xiàn)對(duì)超大口徑凸非球面反射鏡進(jìn)行高精度的面形檢測(cè)。該方法利用計(jì)算機(jī)再現(xiàn)全息和照明透鏡混合補(bǔ)償，實(shí)現(xiàn)對(duì)超大口徑凸非球面的高精度檢測(cè)。首先，對(duì)該方法的基本原理進(jìn)行了分析和研究；然后，以一塊口徑為800 mm的超大口徑凸非球面為例，進(jìn)行了子孔徑規(guī)劃和檢測(cè)光路中相關(guān)光學(xué)元件的設(shè)計(jì)；最后，以中心子孔徑為例，系統(tǒng)分析了該檢測(cè)裝置的敏感度。仿真實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：計(jì)算全息補(bǔ)償器的設(shè)計(jì)殘差均方根值小于0.001 3 nm，該檢測(cè)系統(tǒng)的綜合檢測(cè)精度可以?xún)?yōu)于6 nm RMS。結(jié)果表明該檢測(cè)系統(tǒng)滿(mǎn)足超大口徑凸非球面反射鏡高精度面形檢測(cè)的要求。 9s` 抚州市| 和硕县| 新巴尔虎右旗| 嘉禾县| 南江县| 江油市| 汽车| 轮台县| 广南县| 庆元县| 伊宁县| 铅山县| 漠河县| 鄂州市| 类乌齐县| 铁力市| 左权县| 绵竹市| 缙云县| 方山县| 福建省| 昆明市| 海淀区| 栖霞市| 土默特左旗| 西安市| 南城县| 福鼎市| 页游| 滦南县| 长子县| 讷河市| 什邡市| 喀喇| 阿尔山市| 泽普县| 黑河市| 扎鲁特旗| 沭阳县| 台中县| 呼和浩特市|