摘要：利用補(bǔ)償器的補(bǔ)償法是檢測高精度非球面的一種非常重要的方法 ,它可以利用已廣泛實(shí)用的 Zygo 等高精度的數(shù)字干涉儀 ,用補(bǔ)償法的關(guān)鍵是補(bǔ)償器的設(shè)計(jì)。本文介紹了補(bǔ)償法檢測非球面的原理 ,針對 要檢測一種大數(shù)值孔徑小非球面模芯 ,設(shè)計(jì)了一種由 4 片薄球面透鏡組成的補(bǔ)償器 ,該補(bǔ)償器由前后兩 部分組成 ,前面兩片組成一個數(shù)值孔徑很小的系統(tǒng) ,主要用于產(chǎn)生適量的球差 ,后組兩片組成一個數(shù)值 孔徑較大的系統(tǒng) ,并與前面的一起滿足被測非球面檢測的需要。文中對制造、 檢測及裝調(diào)等主要誤差源 引起誤差進(jìn)行了全面分析。用這種補(bǔ)償器檢測相應(yīng)的非球面 ,檢測精度可達(dá) 0. 05λ,可滿足光盤物鏡非 球面模芯的檢測需要。 ,[n9DPZ
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關(guān)鍵詞：補(bǔ)償法；補(bǔ)償器；大數(shù)值孔徑小非球面
