摘要 %9mCgHQ9  
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高數(shù)值孔徑的物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此，在仿真聚焦時(shí)考慮光的矢量性質(zhì)是至關(guān)重要的。VirtualLab可以支持此類透鏡的光線和場追跡分析。通過場追跡分析，可以清楚地顯示出由于矢量效應(yīng)引起的非對稱焦點(diǎn)。相機(jī)探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場，也可以深入研究矢量效應(yīng)。 9BANCW"  
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建模任務(wù) G%YD2<V  
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概述 LWbWj ^  
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•案例系統(tǒng)已預(yù)先設(shè)置了高數(shù)值孔徑物鏡。 w& RpQcV  
•接下來，我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。 v )7d  
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光線追跡仿真 |0f\>X I  
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為模擬引擎。 N5/TV%u  
•單擊go！ \g4\a?i  
•獲得了3D光線追跡結(jié)果。 cDs#5,  
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V2/+SvB2  
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光線追跡仿真 >^J!Z~;L)  
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•然后，選擇“光線追跡”作為模擬引擎。 ;JL@V}L,  
•單擊go！ n^Z?u9VR  
•結(jié)果得到點(diǎn)圖（二維光線追跡結(jié)果）。 \yG_wZs  
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圖片:1-1911251A311b4.png

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