摘要
{uRnZ/m \$Nx`daFi 高
數值孔徑的
物鏡廣泛用于光刻、顯微等方面。 因此,在
仿真聚焦時考慮光的矢量性質是至關重要的。
VirtualLab可以支持此類
透鏡的
光線和場追跡分析。通過場追跡分析,可以清楚地顯示出由于矢量效應引起的非對稱焦點。
相機探測器和電磁場探測器可以方便地研究聚焦區(qū)域的場,也可以深入研究矢量效應。
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KS/1ux4x 8ctUK| 建模任務
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r~uWr'}a} 概述
b"y][5VE dM(}1%2 •案例
系統(tǒng)已預先設置了高數值孔徑物鏡。
joh=0nk;D •接下來,我們演示如何按照VirtualLab中建議的工作流程在示例系統(tǒng)上執(zhí)行仿真。
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Oi=>Usd MeqW/!72$L 光線追跡仿真
Kd _tjWS shwKB 5 •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”作為
模擬引擎。
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