摘要：發(fā)展了大氣等離子體拋光方法，并用于超光滑表面加工。該技術(shù)基于低溫等離子體化學(xué)反應(yīng)來實(shí)現(xiàn)原子級的材料去除，避免了表層和亞表層損傷。運(yùn)用原子發(fā)射光譜法證明了活性反應(yīng)原子的有效激發(fā)，進(jìn)而揭示了特定激發(fā)態(tài)原子對應(yīng)的電子躍遷軌道。在針對單晶硅片的加工實(shí)驗(yàn)中，應(yīng)用有限元分析法在理論上對加工過程中的空間氣體流場分布和樣品表面溫度分布進(jìn)行了定性分析。后續(xù)的溫度檢測實(shí)驗(yàn)證實(shí)了樣品表面溫度梯度的形成，并表明樣品表面最高溫度 僅為９０℃。材料去除輪廓檢測結(jié)果符合空間流場的理論分布模型，加工速率約為３２ｍｍ３／ｍｉ ｎ。利用原子力顯微鏡對 表面粗糙度進(jìn)行測量，證實(shí)了加工后樣品表面在一定范圍內(nèi)表面粗糙度 犚犪 ＝0.6ｎｍ。最后，利用 Ｘ射線光電子譜法研 究了該方法對加工后表面材料化學(xué)成分的影響。實(shí)驗(yàn)和檢測結(jié)果均表明，該拋光方法可以進(jìn)行常壓條件下的超光滑表面無損拋光加工，實(shí)現(xiàn)了高質(zhì)量光學(xué)表面的無損拋光加工。 |ae97 阿克陶县| 江北区| 全椒县| 眉山市| 石门县| 彭泽县| 彭州市| 宁夏| 两当县| 博兴县| 新津县| 甘南县| 阳曲县| 庐江县| 缙云县| 佳木斯市| 卫辉市| 丽江市| 磐石市| 合水县| 江孜县| 海南省| 得荣县| 错那县| 汉源县| 长治市| 成安县| 和静县| 连城县| 陇川县| 鹤壁市| 北海市| 巴彦淖尔市| 利津县| 曲周县| 易门县| 麻栗坡县| 清远市| 名山县| 尤溪县| 景东|