摘要：超光滑表面制造技術(shù)是超精密加工技術(shù)的一個(gè)重要分支。通過介紹超光滑表面的特征、應(yīng)用及其制造技 術(shù)的發(fā)展，希望給出超光滑表面技術(shù)的整體輪廓。在介紹超光滑表面的概念及其主要特征的基礎(chǔ)上，通過典型例證指 出了超光滑表面在軟X射線光學(xué)、激光陀螺等科技領(lǐng)域的重要應(yīng)用。回顧了超光滑表面制造技術(shù)的發(fā)展過程，對(duì)各種 超光滑表面加工原理與方法進(jìn)行了簡(jiǎn)單描述與評(píng)價(jià)，最后提出了對(duì)超光滑表面制造技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)的觀點(diǎn)。 G[M{TS3&Ds
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關(guān)鍵詞：超精密加工；超光滑表面；拋光；粗糙度 TuX9:Q
