摘要
C{V,=Fo^ hCj8y.X|E( 斐索
干涉儀是工業(yè)中常見(jiàn)的
光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高
精度測(cè)試。 借助
VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)
菲索干涉儀,并利用它測(cè)試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對(duì)表面輪廓具有敏感性。
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