摘要
(i.7\$4 4!U)a 斐索
干涉儀是工業(yè)中常見的
光學(xué)計(jì)量設(shè)備,它們通常用于光學(xué)表面質(zhì)量的高
精度測試。 借助
VirtualLab Fusion中的非順序追跡,我們構(gòu)建了一個(gè)
菲索干涉儀,并利用它測試了不同的光學(xué)表面,例如圓柱形和球形。 可以看出,產(chǎn)生的干涉條紋對表面輪廓具有敏感性。
`9`T,uJe N<N uBtkA
nB9(y4 l+r3|b 建模任務(wù)
4(D1/8 PR2;+i3
mHB0eB'l s#p\ r 傾斜平面下的觀測條紋
>(\Z-I&YQ 0s72BcP
TN=!;SvQU <hBd
#J 圓柱面下的觀測條紋
#zed8I:w OnND(YiX
oXgi#(y _@D"XL#L 球面下的觀測條紋
V6!1(| hQ80R B
>$:_M*5 v\G+t2{ VirtualLab Fusion 視窗
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