光行天下>光學(xué)加工與制造>微納加工技術(shù)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用

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離線ka2012

技術(shù)專家

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只看樓主正序閱讀樓主發(fā)表于: 2020-02-03

關(guān)鍵詞：微納加工光電子光子晶體量子點(diǎn)

摘要：納米光電子器件正在成為下一代光電子器件的核心。文章介紹了電子束光刻和電感耦合等離子體刻蝕為代表的微納加工技術(shù)在光電子學(xué)器件中的應(yīng)用，主要包括量子點(diǎn)激光器、量子點(diǎn)THz探測器和光子晶體器件。

關(guān)鍵詞：納米光電子器件；電子束光刻；電感耦合等離子體刻蝕；量子點(diǎn)器件；光子晶體

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微納加工技術(shù)在光電子領(lǐng)域的應(yīng)用.rar (211 K) 下載次數(shù):12 ，售價(jià):2光幣[記錄]

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cyqdesign

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2020-02-03

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離線l小飛

實(shí)習(xí)生

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離線剎那青春

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離線cmy0522

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學(xué)習(xí)了

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謝謝樓主分享

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離線fy0511

實(shí)習(xí)生

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非常好的資源！感謝樓主

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