摘要：自由曲面光學元件與球面和非球面光學元件相比能夠提供更高的光學設計自由度，應用于成像光學系統(tǒng)有利于簡化系統(tǒng)結構和改善系統(tǒng)質(zhì)量，在新一代空間光學遙感領域具有廣闊的應用前景。為了滿足離軸反射式自由曲面空間光學遙感系統(tǒng)的快速、高精度研制需求，本文瞄準微晶材質(zhì)、復雜連續(xù)曲面類自由曲面反射鏡超聲銑磨加工表面粗糙度和亞表面質(zhì)量的提升目標，開展了主軸轉速、切削深度、進給量等主要工藝參數(shù)的優(yōu)化實驗和研究，完成了300 mm口徑自由曲面反射鏡的建模分析和超聲銑磨加工，最終銑磨加工表面的面形精度達8.89 μm PV，亞表面損傷層深度低于18 μm，實現(xiàn)了自由曲面光學反射鏡的高精度、低損傷銑磨加工，能夠有效降低后續(xù)研拋加工的材料去除總量，縮短整個加工周期。 98%a)s)(a
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關鍵詞 ： 光學加工；自由曲面；超聲銑磨；工藝參數(shù)優(yōu)化；表面粗糙度；微晶
