在EUV光刻機(jī)方面，荷蘭ASML（阿斯麥）公司壟斷了目前的EUV光刻機(jī)，去年出貨26臺，創(chuàng)造了新紀(jì)錄。據(jù)報(bào)道，ASML公司正在研發(fā)新一代EUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)在2022年開始出貨。根據(jù)ASML之前的報(bào)告，去年他們出貨了26臺EUV光刻機(jī)，預(yù)計(jì)2020年交付35臺EUV光刻機(jī)，2021年則會達(dá)到45臺到50臺的交付量，是2019年的兩倍左右。 NcdOzx>  
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目前ASML出貨的光刻機(jī)主要是NXE:3400B及改進(jìn)型的NXE:3400C，兩者基本結(jié)構(gòu)相同，但NXE:3400C采用模塊化設(shè)計(jì)，維護(hù)更加便捷，平均維修時間將從48小時縮短到8-10小時，支持7nm、5nm。 ]R(=)  
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此外，NXE:3400C的產(chǎn)能也從之前的125WPH（每小時處理晶圓數(shù)）提升到了175WPH。 dQt]r  
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不論NXE:3400B還是NXE:3400C，目前的EUV光刻機(jī)還是第一代，主要特點(diǎn)是物鏡系統(tǒng)的NA（數(shù)值孔徑）為0.33。 vU::dr  
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ASML最近紕漏他們還在研發(fā)新一代EUV光刻機(jī)EXE:5000系列，NA指標(biāo)達(dá)到了0.55，主要合作伙伴是卡爾蔡司、IMEC比利時微電子中心。 hl8[A-d(R 新乐市| 北京市| 思茅市| 澄迈县| 瑞安市| 宁德市| 高清| 丰顺县| 阜宁县| 江津市| 安龙县| 乌苏市| 武鸣县| 三原县| 徐闻县| 华阴市| 高尔夫| 秀山| 蒙山县| 延津县| 若尔盖县| 沅江市| 和静县| 汪清县| 霍林郭勒市| 锡林郭勒盟| 灵石县| 翁牛特旗| 碌曲县| 会昌县| 西林县| 临高县| 临洮县| 镇赉县| 茌平县| 定日县| 永新县| 锡林浩特市| 万宁市| 南涧| 盱眙县|